d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。

  l.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。

 2.生產設備之防塵措施：
  a.磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。
  b.易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。
  c.在操作時，盡量減少接觸零件或產品。
  d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
  e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。

  f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。